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全球时差转换器
质量流量计的工作原理
答:
MFC sensor的构成是有加热电桥heater和两个温度传感器Upstream和 Downstream构成,Upstream和 Downstream的电阻值基本一致但必须<3欧姆,heater会保持一个恒定的温度100度左右,当制动MFC时gas通过tube时Upstream和 Downstream会产生一个温度差,将此温度差
转换
为0-5V的信号,此信号为SPAN值,通过比较器调整SPAN,PID闭环控制,使...
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