x射线光电子能谱的XPS系统结构原理

Question

如题所述

Answer 1

X射线源是用Al或Mg作阳极的X射线管。 它们的光子能量分别是1486eV和1254eV 。 安装过滤器
（或称单色器）是为了减小光子能量分散。 离子枪的作用一方面是为了溅射清除样品表面污染，以便得到清洁表面，从而提高其分析的准确性。 另一 方面，可以对样品进行溅射剥离，以便分析不同深度下样品的成份。　　样品室内的样品架安装有传动机构，不但可以做x，y和z三个互相垂直方向的移动。还可沿某一坐标轴作 一定角度的旋转。这样便于观察分析研究样品不同部位的情况。
电子能量分析器是X射线光电子能谱仪的关键组成部分。它 的作用是测 量电子能量分 布和不 同能量 电子的相对强度。电子能量分析器和电子倍增器系统完全由微型电子计算机控制。