• 所有问题

    • 为什么管式PECVD（CT）在做156单晶（做双层膜），在第二次镀膜时候射频电源（功率6800）会报警啊？

    如题所述

    举报该问题
    其他回答
    第1个回答  2012-11-06
    是什么报警？反射过大吗？如果发射过大，建议增加Stable步，原因是等离子体阻抗突变引起的。追问

    射频2次报警啊，如何增加Stable步啊？

    追答

    增加工艺气体稳定的时间。

    第2个回答  2012-11-17
    电流超过报警值了吧
    相似回答
    管式PECVD与平板式PECVD机器镀膜的区别在哪里?答：前者是在管子里，片子在石墨舟里作为电极镀膜，可以叫做直接式，后者则在石墨框上，不作为电极，可以叫做间接式。前者采用射频电源，后者则采用微波辉光。另外还有很多不同之处。
    大家正在搜
    做CT正常能管几年CT无异常需做气管镜吗做一次ct可以管多久做ct能检查出什么CT球馆150HZ管脉CT胸片CT正常能管几年胸片CT正常能管多久CT能看出根管吗
    相关问题
    PECVD镀膜机一般抽到多少真空度
    管式PECVD与平板式PECVD机器镀膜的区别在哪里？
    PECVD镀膜设备多少钱
    pecvd镀减反膜为什么镀2层
    我们用PECVD镀非晶硅膜的时候，有几炉镀膜不均。像彩虹一样...