TMAH是一种化学物质，是四甲基氢氧化铵的缩写。TMAH的物理性质是无色结晶（常含三、五等结晶水），极易吸潮，有一定的氨气味，具有强碱性，在空气中能迅速吸收二氧化碳，形成碳酸盐为有机强碱，具有较强的腐蚀性。
基本介绍
中文名 ：四甲基氢氧化铵 外文名 ：Tetramethylammonium Hydroxide 缩写 ：TMAH 分子式 ：（CH3）4NOH 分子量 ：91
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简介
名称： 中文名称：四甲基氢氧化铵 英文名称：Tetramethylammonium Hydroxide 理化性质 分子式：（CH3）4NOH； 分子量：91 沸点：100℃ 固体带5个结晶水，无色透明，有很强的吸水性； 易溶于水，溶解时放热，水溶液呈强碱性，有滑腻感； 稳定性：高温分解 禁配物：强酸、氧化剂及铵盐。用来试验的产品会慢慢地侵蚀铝及其它一些非铁性金属(例如锡、铜、锌等)，并放氢气；
危险性概述
危险性类别：第8.2 类碱性腐蚀品； 侵入途径：吸入、食入、经皮吸收； 健康危害：本品具有 *** 性和腐蚀性。直接接触可引起皮肤和眼灼伤。生产中吸入其烟雾可引起呼吸道 *** 和结膜炎，还可有鼻黏膜溃疡、萎缩及鼻中隔穿孔。长时间接触本品溶液可发生湿疹、皮炎、鸡眼状溃疡和皮肤松弛。接触本品的作业工人呼吸器官疾病发病率升高。误服可造成消化道灼伤、黏膜糜烂、出血和休克。 环境危害：对环境有危害，对水体可造成污染。 燃爆危险：本品不燃，具腐蚀性、 *** 性，可致人体灼伤。
急救措施
皮肤接触：浓度更高时可能严重伤害肺部。应穿着C级防护装备在安全区实施急救。立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。就医； 眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医； 摄取：若受害者心智清醒，没有引起呕吐时，给 2-4杯的牛奶或水。若受害者晕迷不醒，不要通过口给任何东西。立即采取医学治疗； 吸入：立即采用医学治疗。立即把受害者从暴露的地方移置到新鲜空气的地方。如果呼吸困难，采取人工给氧。千万不要采用口对口的给氧方式。如果呼吸停止了，通过使用氧气或合适的医用装置(面具，袋子)，采用人工呼吸急救法。医生特别注意此项；
消防措施
适用的灭火剂：二氧化碳，干燥的化学品或水 特殊危害：可能产生三甲胺、甲醇。当加热时产生NOx或CO，这些气体具有一定的腐蚀性、爆炸性和毒性。 灭火方法：消防人员必须穿全身耐酸碱消防服。灭火时尽可能将容器从火场移至空旷处，本品不燃。消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服，在上风向灭火。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。灭火时尽量切断泄漏源，然后根据着火原因选择适当灭火剂灭火。
泄漏应急处理
个人注意事项：1. 在污染区尚未完全清理干净前，限制人员接近该区。 2. 确定清理工作是由受过训练的人员负责。 3. 穿戴适当的个人防护装备。 环境注意事项：1. 对该区域进行通风换气。 2. 扑灭所有发货源。 3. 报告 *** 安全卫生与环保相关单位。 清理方法：迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防酸碱工作服。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止流入下水道、排洪沟等限制性空间。 小量泄漏：用砂土混合。也可以用大量水冲洗，洗水稀释后放入废水系统。 大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容。用泵转移至槽车或专用收集器内，回收或运至废物处理场所处置。
安全处置方法
处置：密闭操作，加强通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。戴化学安全防护眼镜，戴橡胶手套。避免与碱类接触。搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。稀释或制备溶液时，应把碱加入水中，避免沸腾和飞溅。 储存：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。应与酸类等分开存放，切忌混储。储区应备有合适的材料收容泄漏物。
暴露预防措施
工程控制：密封储藏或使用此产品一定要配有洗眼装置及安全的淋浴，使用通风装置将空气中的深度降低。 个人防护设备： 呼吸防护：空气中浓度超标时，必须佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）。紧急事态抢救或撤离时，应该佩戴空气呼吸器。 手防护：戴橡胶手套。 眼睛防护：飞溅防护罩或尘土防护安全护目镜及面具，防止接触此物品。 身体防护：穿橡胶耐酸碱服。 卫生防护的具体说明：1. 工作后迅速脱掉污染衣物，洗净后才可再穿戴或丢弃，且须告知洗衣人员污染的危害性。 2. 工作场所严禁抽菸或饮食。 3. 处理此物后，须彻底洗手。 4. 维持作业场所清洁。
毒理学资料
国内暂无；关于此产品的诱变性还未报导；关于此产品的致癌性还未报导；关于此产品的生殖的危害还未报导；
生态学资料
该物质对环境可能有危害，对水体应给予特别注意；
废弃处置方法
废弃物性质：危险废弃物； 废弃处置方法：用安全掩埋法处置。在能利用的地方重复使用容器或在规定场所掩埋。 废弃注意事项：本产品衍生的废弃物的管理及排放标准须遵守法规的规定，废弃处置方法需遵守所有环保法规的规定。 运输信息 危险货物编号：82019 UN编号：1835 包装标志：腐蚀性物质 包装类别：N/A 包装方法：玻璃瓶或塑胶桶（罐）外普通木箱或半花格木箱；螺纹口玻璃瓶、铁盖压口玻璃瓶、塑胶瓶或金属桶（罐）外普通木箱；螺纹口玻璃瓶、塑胶瓶或镀锡薄钢板桶（罐）外满底板花格箱、纤维板箱或胶合板箱。 运输注意事项：铁路运输时应严格按照铁道部《危险货物运输规则》中的危险货物配装表进行配装。起运时包装要完整，装载应稳妥。运输过程中要确保容器不泄漏、不倒塌、不坠落、不损坏。严禁与氧化剂、酸类、食用化学品等混装混运。运输时运输车辆应配备泄漏应急处理设备。运输途中应防曝晒、雨淋，防高温。公路运输时要按规定路线行驶，勿在居民区和人口稠密区停留。
法规信息
1. 化学危险物品安全管理条例(2002年1月26日国务院发布)， 2. 化学危险物品安全管理条例实施细则(化劳发[1992] 677号)， 3. 工作场所安全使用化学品规定([1996]劳部发423号)等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定； 4. 化学品分类和危险性公示通则(GB 13690-2009)将该物质划为第2.2 类皮肤腐蚀/ *** 。
其他
案例分析
1996年2月中旬，台湾南部某电子化学品制造厂员工在排除25%四甲基氢氧化铵溶液(tetramethylammoniumhydroxide，简称TMAH)输送系统的故障时，输送管线的由令(union)突然爆裂造成两名劳工身体多处被TMAH溶液喷溅，两名劳工立即使用大量清水紧急冲淋，经过二十分钟左右后，两名劳工即呈现昏迷现象，厂方人员即刻对两员施以心肺复苏术(CPR)，并且送医急救，经医院抢救无效，两名员工当日逝世于某医学院烧烫伤紧急救护中心。 据了解当时两名劳工遭TMAH喷溅后，送医前已到院前死亡(Death on arrival)，虽经院方抢救后恢复心跳及血压，但仍不幸陆续于当日不治。经医师检视当时两人伤势仅头、颈部各约百分之五至七的二至三度化学性灼伤，受伤面积不大，然却在短时间内不治身亡。 TMAH国内使用背景 近年来， TMAH大量地使用在半导体与光电等电子高科技产业中，其主要用途是在黄光制程中当作显影剂(Developer)使用，而以往其危害认知上，仅当成强碱性与腐蚀性化学物质处置，故其物质安全资料表各厂商可谓莫衷一是。
TMAH性质
综合各家厂商提供的物质安全资料表及相关研究报告记载此物质为一无色至微黄液体、具有类似胺类(amine)气味；极易溶于水中；比重为1.02g/cm3(20℃)；沸点为102-110℃(依浓度变化，1atm)；蒸气压为17.5-18mmHg(20℃)；蒸气密度为3.4 (air=1)；pH值大于13；闪点80℃；爆炸极限16%~25%；（闪点及爆炸极限部分MSDS未列出）； 健康危害分析：TMAH主要的健康危害分成两部份，第一部份是OHˉ基，其特性为强碱与腐蚀性，健康危害效应为造成皮肤及黏膜组织灼伤；第二部份是TMA+基，其特性为类似毒螺类神经毒素，健康危害效应为抑制呼吸肌肉群，造成呼吸肌肉停止，心跳减缓，严重者导致脑部缺氧死亡。故吸入、食入或皮肤大面积与TMAH接触时，在15-30分钟内产生急性中毒，甚至呼吸停止死亡；人类口服可能致死剂量：25%TMAH0.8-4，2.38% TMAH8.4-42。
急救措施
如与皮肤接触时，立即以大量清水持续冲洗接触面20分钟以上并同时脱去受污染衣物，且立即送医急救，在过程中尤应小心防护避免二次污染； 如遇眼镜接触时，立即提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗至少15分钟，立刻就医； 如不慎吸入时，迅速脱离之空气新鲜处，保持呼吸畅通；若患者呼吸困难时，立即供应氧气，并就医； 如患者停止呼吸时，立即施予人工呼吸并立即送医急救。 如不慎食入，立即漱口，口服稀释的醋或柠檬汁，就医； 目前并无其解毒剂记载。
应急防护措施
由于人体接触到TMAH有极大致死风险存在，有关TMAH现场作业人员的个人防护用品(PPE)选择，建议从三个风险等级进行管理： 第一级防护：TMAH系统无蓄压状况下，人员可能有机会碰触此物质，在此状况个人防护具应着用C级化学防护衣、面罩、安全眼镜、防酸碱靴及防酸碱手套； 第二级防护：TMAH系统有潜在蓄压状况下，人员极有可能被含有压力存在的TMAH液体喷溅及吸入TMAH雾气，故此状况个人防护具应着用C级化学防护衣(全身式)、面罩、安全眼镜、碱性滤毒罐呼吸防护面罩、防酸碱靴及防酸碱手套； 第三级防护：紧急应变处理，系统的TMAH溶液持续大泄露或发生火灾情形，此状况个人防护具应着用B级化学防护衣、供气式呼吸防护具(SCBA)、防酸碱靴及防酸碱手套；
使用管理要求
1、根据健康危害分析中描述，要求将其作为剧毒化学品进行管理，执行“五双”管理制度，独立空间存放，严格管控； 2、所有作业、维护人员均须进行培训； 3、严格按照PPE的穿戴要求进行防护；