半导体薄膜材料主要有以下几种：
1. 硅薄膜
硅薄膜是半导体领域中应用最广泛的薄膜材料之一。由于其优秀的物理性能和成熟的制造工艺，硅薄膜广泛应用于集成电路、太阳能电池等领域。
2. 砷化镓薄膜
砷化镓是一种化合物半导体材料，具有高电子迁移率、高热导率等优点。砷化镓薄膜在高速电子器件、光电子器件等领域有重要应用。
3. 氮化镓薄膜
氮化镓是一种宽禁带半导体材料，具有高热导率、高硬度等特点。氮化镓薄膜在蓝光LED、高频器件等领域有广泛应用。此外，它还用于制造紫外线和短波辐射的光电器件。
详细解释：
半导体薄膜材料是一类具有特殊电学性能的材料，它们通常被制备成薄膜形态，应用于电子器件、集成电路、太阳能电池和光电子器件等领域。除了上述几种常见的半导体薄膜材料，还有其他的材料如硫化铅薄膜、硒化锌薄膜等也在特定的应用领域中发挥着重要作用。这些材料的选择和应用取决于器件的需求和特定的工艺要求。随着科技的不断发展，新型的半导体薄膜材料也在不断地涌现，它们为半导体技术的进步提供了更广阔的空间和可能性。