国家半导体大基金二期如何解决国产EUV光刻机难题?

如题所述

国家半导体大基金二期注册资本2041亿,或将助力国产EUV光刻机突破

第二期国家集成电路产业投资基金,简称大基金二期,注册资本高达2041.5亿元,较一期1387.2亿元增长明显。预计在11月份开始投资,其核心目标是半导体装备及材料行业。


早在2014年,为刺激半导体行业投资,国务院发布了《国家集成电路产业发展推进纲要》,大基金便随之应运而生,由财政部、国开金融等多家机构共同发起。一期基金(2014-2018)已投资完毕,涉及23家公开公司,支持了70多个项目,尤其在制造和设计领域有所侧重。


尽管一期基金在半导体装备及材料领域的投资相对较少,但二期将把重点放在这一领域,包括光刻机、蚀刻机等关键设备。光刻机是半导体生产的重要工具,目前高端市场主要被美国和日本厂商占据,如ASML的EUV光刻机售价高昂,技术难度极高。


大基金二期不仅关注5G、AI和物联网等前沿领域,还将大力支持国产光刻机的发展,以期打破技术瓶颈。目前国产光刻机技术仍停留在90nm工艺,与先进水平差距明显。然而,光刻机技术的进步需要长期研发投入和国际合作,ASML的成功并非一日之功。


因此,大基金二期的巨额资金注入,无疑为国产EUV光刻机乃至整个半导体装备行业提供了强大推动力,有望推动我国在这个关键领域的自主创新能力提升。

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