半导体黄光机台工作原理

Question

如题所述

Answer 1

该机台的工作原理是将光刻胶层上的图案转移到半导体晶圆上，以形成电路的图案。
该机台根据芯片电路设计要求，制作出掩模，掩模是一张透明玻璃片，上面覆盖着细致的雾化金属或光刻胶，形成了待制作的芯片的图案。
将制作好的掩模放置在黄光机台上，掩模与光刻胶接触。通过紫外线或深紫外线光源照射掩模，光线经过透镜和光学系统的聚焦，图案的细节被传输到光刻胶上。