以共聚焦显微技术为原理的共聚焦显微镜，在陶瓷、金属、半导体、芯片等材料科学及生产检测领域中有着广泛的应用。它能对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，从而获取反映器件表面质量的2D、3D参数，实现器件表面形貌3D测量。
广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
还有主要应用在生物领域及医学研究中的荧光显微镜，能得到细胞或组织内部微细结构的荧光图像，在亚细胞水平上观察诸如Ca2+ 、PH值，膜电位等生理信号及细胞形态的变化，是形态学，分子生物学，神经科学，药理学，遗传学等领域中新一代强有力的研究工具。
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第1个回答 2013-12-04
1、高分辨率观察的显微镜，常规显微镜的分辨率0.35微米是极限，激光共聚焦显微镜的分辨率为0.1-0.2微米，所以在亚微米级观察上可以代替电子显微镜（无法做元素分析）。2、高精度表面形态测量，检测细微表面的高度差异，线宽测量、体积、表面积，异物，杂质等的大小，表面粗糙度分析。3、三维形貌显微镜。本回答被提问者采纳
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