一、根据电容式传感器的工作原理，分为三种类型：
1、变极板间距的变极距型
变极板间距型电容式传感器的特点：电容量与极板间距成反比。主要用于测量位移量。
2、变极板覆盖面积的变面积型
变极板覆盖面积型电容传感器的特点：电容量与面积改变量成正比。主要用于合测量线位移和角位移。
3、变介质介电常数的变介质型
变介袭质型电容传感器的特点：利用不同介质的介电常数各不相同，通过改变介质的介电常数实现对被测量的检测， 并通过电容式传感器的电容量的变化反映出来。
主要用于介质的介电常数发生改变的场合。
二、按测量原理分类
根据测量原理不同，电容式传感器分为变面积型传感器、变极距型传感器、变介质型传感器。
1、面积变化型一般用于测量角位zhidao移或较大的线位移。
2、极距变化型一般用来测量微小的极距变化。
3、介质变化型常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。
优点
1、温度稳定性好
电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，这有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。而电阻传感器有铜损，易发热产生零漂。
2、结构简单
电容式传感器结构简单，易于制造和保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力，高冲击，过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。
3、动态响应好
电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小(约几个10^(-5)N)，需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫兹的频率下工作，特别适用于动态测量。
又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数。
4、可以非接触测量且灵敏度高
可非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。
电容式传感器除了上述的优点外，还因其带电极板间的静电引力很小，所需输入力和输入能量极小，因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力高，能感应0.01μm甚至更小的位移。
由于其空气等介质损耗小，采用差动结构并接成电桥式时产生的零残极小，因此允许电路进行高倍率放大，使仪器具有很高的灵敏度。