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    • 射频离子源不起辉怎么办

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    推荐答案   2015-11-07
    检查射频电源是否输出正常，入射功率和反射功率比较。如果入射正常，反射很大，检查匹配器是否工作？ 如果入射功率不能达到设定功率，过小，检查射频电源是否烧毁。
    若射频电源和匹配都工作，将气体流量加大，中和器打开，再测。
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    第1个回答  2015-08-28
    检查问题看是否电源坏了
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