射频电源反射功率过大怎么办

Question

如题所述

Answer 1

1、首先检查RF射频电源和射频自动匹配器以及等离子体腔体之间的射频连接接头是否接紧；或更换射频同轴电缆和接头检查是否坏损；
2、其次初次使用可能是等离子体腔体的阻抗不在射频自动匹配器的阻抗范围内，可以先将射频自动匹配器的工作模式设定为手动匹配模式进行匹配，如果还是有同样的问题建议联系商家；
3、最后匹配器故障，请联系商家。