工业机器人液压驱动系统由以下四部分组成：
液压泵：将液压能转变为机械能，实现机器人的直线运动、回转运动和臂部运动。
液压阀：包括顺序阀、伺服阀、比例阀等，用于控制液压系统的压力、流量和方向，从而实现机器人的各种动作。
液压缸：将液压能转变为机械能，实现机器人的直线运动、回转运动和臂部运动。
油箱：用于储存液压油，保证机器人的正常运行。
优点：
功率大，可省去减速装置直接与被驱动的杆件相连，结构紧凑，刚度好，响应快。
需要增设液压源，易产生液体泄漏，不适合高、低温场合，故液压驱动目前多用于特大功率的机器人系统。
可以实现高精度的传动和较大的力矩输出。
缺点：
需要液压源，较重，不适合移动距离较远的机器人。
不能自行润滑，必须依靠润滑系统，维护保养困难。
机械作业要柔和平顺，否则必然产生冲击负荷，使机械故障频发，大大缩短使用寿命。
液压系统的工作温度一般控制在30～80 ℃之间为宜，油液温度过高或过低都会影响其性能。
应用：
适用于大型机器人的关节驱动，如工业生产线上的切割、打磨、装配等。
适用于复杂环境下的作业，如在高温、低温、有尘埃、有放射性等恶劣环境下的作业。
适用于特殊形状的机器人，如六关节机器人、腕关节机器人等。