怎样分析XPS能谱

如题所述

第1个回答  2019-04-22
您好
您可以找一本
X射线光电子潽学
的书来看看,如果您打算了解这门学问的话,但是如果您仅仅是想分析谱图,那么就简单了,首先您做出的谱图如果是含有多种元素的图,那就要先完成分峰这个任务,找一个分峰的软件,我用的是XPS
PEAKFIT,然后查到各个峰的位置,也就是找到横坐标:结合能(Binding
energy),再和标准的峰位表进行比对,就可以确定这个峰到底是对应什么元素了。大体就是这个思路,因为我做的是稀磁半导体的掺杂,所以我使用XPS来确定我掺杂物的价态,所以我简要说了我的工作所涉及的步骤,XPS还有其他很多用处。