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单晶制绒过程
如题所述
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推荐答案 2012-10-18
制绒化学品:氢氧化钠、异丙醇、制绒辅助剂、盐酸、氢氟酸、柠檬酸、无水乙醇、硅酸钠、ND150
制绒粗抛的作用:去除硅片表面机械损伤层
电阻率范围:正常:0.5~3 高阻可生产:3~4 高阻不可生产:>4
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制绒
的分类
答:
利用这一原理,
将特定晶向的单晶硅片放入碱溶液中腐蚀,即可在硅片表面产生出许多细小的金字塔状外观
,这一过程称为单晶碱制绒。单晶制绒剂主要有EPW(乙二胺、邻苯二甲酸和水)、TMAH(氢氧化四甲基铵)等,无机腐蚀剂主要有KOH、NaOH、Na2SiO3、Na3PO4等。同时为了优化工艺,常常在碱溶液中加入添加剂,如...
单晶
硅实验室
制绒
工艺流程
答:
流程是:预清洗-水洗-制绒-水洗-酸洗-水洗
。制绒液的参数:碱1-2%(质量比),醇(异丙醇或乙醇):6-8%(体积比),硅酸钠:4-5%(质量比),温度78-82度。时间20-30分钟
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