涡流法是根据涡流原理测量导电基体上的非导电涂层的厚度，其测量数值受以下一些因素的影响：
a基体金属电性质
基体金属的电导率对测量有影响，而基体金属的电导率与其材料成分及热处理方法有关。使用与试件基体金属具有相同性质的标准片对仪器进行校准。
b基体金属厚度
每一种仪器都有一个基体金属的临界厚度。大于这个厚度，测量就不受基体金属厚度的影响。本仪器的临界厚度值见附表1。
c边缘效应
本仪器对试件表面形状的陡变敏感。因此在靠近试件边缘或内转角处进行测量是不可靠的。
d曲率
试件的曲率对测量有影响。这种影响总是随着曲率半径的减少明显地增大。因此，在弯曲试件的表面上测量是不可靠的。
e试件的变形
测头会使软覆盖层试件变形，因此在这些试件上不能测出可靠的数据。
f表面粗糙度
基体金属和覆盖层的表面粗糙程度对测量有影响。粗糙程度增大，影响增大。粗糙表面会引起系统误差和偶然误差，每次测量时，在不同位置上应增加测量的次数，以克服这种偶然误差。如果基体金属粗糙，还必须在未涂覆的粗糙度相类似的基体金属试件上取几个位置校对仪器的零点；或用对基体金属没有腐蚀的溶液溶解除去覆盖层后，再校对仪器的零点。
g磁场
周围各种电气设备所产生的强磁场，会严重地干扰磁性法测厚工作。
h附着物质
本仪器对那些妨碍测头与覆盖层表面紧密接触的附着物质敏感，因此，必须清除附着物质，以保证仪器测头和被测试件表面直接接触。
i探头压力
测头置于试件上所施加的压力大小会影响测量的读数，因此，要保持压力恒定。
j)探头的取向
测头的放置方式对测量有影响。在测量中，应当使测头与试样表面保持垂直。
如果您能排除了以上原因之后数据仍然偏差较大，还有可能是涂层本身的厚度是不均匀的（涂装工艺造成），另外就是仪器质量问题了。
追问应该是测膜仪的问题吧，试了好多个工件，连基体都是这样。那么这个测膜仪还可不可以校准呢？或者维修之类的。