关键尺寸与重要尺寸区别

Question

如题所述

Answer 1

定义不同。
1、关键尺寸指的是在特定曝光强度阈值下得到的光刻胶沟槽或线条的宽度。
2、重要尺寸是指在集成电路光掩模制造及光刻工艺中为评估及控制工艺的图形处理精度，特设计一种反映集成电路特征线条宽度的专用线条图形，二者的定义不同。