氧化膜厚度单位

Question

如题所述

Answer 1

氧化膜厚度单位是μm。

氧化膜中存在两种类型的应力，氧化膜恒温生长时产生的生长应力和温度变化时由于金属与氧化物的热膨胀系数不同而产生的热应力。氧化膜应力的精确测量是氧化膜应力研究的基础。已经发展了多种氧化膜应力原位测量技术。

氧化膜厚度测定方法：

涡流测厚仪测厚：利用仪器上的专用探头放在氧化过的表面上，膜的厚度可直接在刻度盘上读出。测厚范围用0～50μm较方便。

电压击穿法：用专门电压击穿仪器测出氧化膜的击穿电压之值，在刻度盘上可直接读出氧化膜的厚度，或由对照表中查出。

金相试片观察：将经氧化过的零件，切取一试片用金相试片的方法处理后，放在显微镜下，观察氧化膜的厚度。