洁净室与非洁净室之间的墙体 。
不同级别洁净室、洁净室与非洁净区之间都要维持一定的压差,以避免或减 少通过开口或缝隙造成的污染扩散。判定各相邻房间是否满足所需静压差的要求, 需要组洁净室微压差检测。
一般做洁净室压差检测常用仪器
1、曲管压差计
曲管压差计是一种既简单而压差测值适应范围又相对较宽的液体微压计。它利用液体管的曲率变化替代斜管压差计的倾角变化,以便于在较宽的范围内测定微压差,而构造较为简单。
2、弹性气压计
弹性气压计是利用物体弹性制造的气压计。弹性气压计种类繁多,应用范围非常广泛。通过测定与齿轮或磁链相连的指针因隔膜位移而偏转的距离,来测量两个区域的空气压差。
3、型气压计
U 型气压计由于形状像英文大写字母 U 字而得名。实际上 U 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。加入液体后,一头与大气连通,另一头与被测的气体连通。利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的大气压数值,就可以得到被测的气压值。
4、斜管压差计
斜管微压计可以理解为 U 型压力计的变形。一般情况,U 型压力计的玻璃管垂直读数,斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后,同样的压差在玻璃管中显示的距离较大,读数的精确度较高。所以与U 型压力计比较,斜管微压计的读数精确度要高一些。