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    • 磁控溅射反射功率太大原因

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    推荐答案   2022-07-26
    容抗感抗超出范围。磁控溅射镀膜技术是物理气相沉积法（PVD）的一种，就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。如出现功率过大的原因就是容抗感抗超出范围，在不同溅射功率下制备涂层测试附着力发现，随着功率的不断增加，附着力越来越好。
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    第1个回答  2023-04-06
    磁控溅射反射功率太大原因主要是因为容抗感抗超出范围
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    射频电源反射功率过大怎么办答：其次初次使用可能是等离子体腔体的阻抗不在射频自动匹配器的阻抗范围内，可以先将射频自动匹配器的工作模式设定为手动匹配模式进行匹配，如果还是有同样的问题建议联系商家；3、最后匹配器故障，
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