射频电源工作时，其反射功率是不是越小越好

Question

正常工作时，匹配器调节电容电感后是不是反射功率越小越好

Answer 1

是的。
反射功率是消耗在线材，匹配器上的能量。其值越大，电源效率越低，同时过大的反射功率会导致负载线与匹配器过热烧坏。
使用射频电源前要先调节好匹配器，让反射功率尽可能小，一般好的匹配器可把反射功率调到总功率2%以内，最好为0。